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昆山阿尔铭晟电子科技有限公司

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产品中心 >> 真空环形低温等离子体处理机


机台型号:MV90-8.5LML

整机规格:700mm(W)×1600mm(H)×700mm(D)

腔体规格:8.5L

电极规格:外置环形电极

载物方式:平放/悬挂均可,单层平放尺寸,180mm×185mm

电源系统:固态晶体管等离子发生源

控制系统:触摸屏+PLC控制

放电真空度:20-60Pa

输入电压:380V三相50Hz

可加载气体: 氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2)、四氟化碳(CF4)、氢气(H2)、接枝气体等,可同时接通多种气体。

▪ 应用范围

适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。


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